【摘要】 本发明专利公开了一种氧化锌基体中定向排列的金属纳米锌的制备方法，它提供了在氧化锌单晶晶片或薄膜材料中离子注入过渡族金属离子(III B-VIIB族金属)，制备完全定向排列(相对于ZnO基体)的金属纳米锌的方法，具体给出了相应的工艺过程和具体参数，以及采用该方法所获得的定向排列金属纳米锌的结果。本专利提出的途径能高效，简单可控的在氧化锌材料中制备完全定向排列的金属纳米锌，且纳米锌都是单晶的。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院上海技术物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】200083 上海市玉田路500号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】虹口区 【申请号】CN200810041160.5 【申请日】2008-07-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101333686B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101333686B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C30B31/22; H01L21/265 【发明人】陆卫; 李亚军; 张波; 陈平平; 李天信; 李志锋; 李宁; 陈效双 【主权项内容】一种氧化锌基体中定向排列的金属纳米锌的制备方法，其特征在于：它包括以下步骤：a.氧化锌基体材料的制备基体材料采用氧化锌薄膜或者经过表面抛光的氧化锌晶片，基体材料清洗过程如下：先在丙酮溶液中超声清洗5分钟，然后在去离子水中漂洗5分钟，干燥；接着在甲苯溶液中超声清洗5分钟，然后在去离子水中漂洗5分钟，干燥；最后在二甲基亚砜溶液中超声清洗5分钟，然后在去离子水中漂洗5分钟，干燥；b.IIIB-VIIB过渡族金属注入IIIB-VIIB过渡族金属的注入在室温下进行，注入能量是200至300KeV，离子束流密度是1×1013cm-2s-1，注入剂量是5×1016/cm2至2×1017/cm2，离子束入射方向与样品表面法线的夹角为7°；c.退火离子注入后，材料在空气气氛或氮气、氩气或氦气的保护气氛下退火处理，退火温度450至1100℃，退火时间3至120分钟。 -官网 【当前权利人】中国科学院上海技术物理研究所 【当前专利权人地址】上海市玉田路500号 【统一社会信用代码】12100000425005579K 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】3
