【摘要】 本发明涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备，是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备，所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体，每个真空腔体设有一到多个电极盒，每个电极盒可放置多片玻璃，所述两个真空腔体共用真空获得和压力测量系统，工艺气体和流量控制系统，射频电源和匹配器系统，并通过中心控制系统在时间上控制两真空腔体的化学气相沉积为交替工作过程，该设备大幅度地提高了非晶硅薄膜太阳能电池量产过程中的设备可靠性，提高了该高质量低速沉积工艺技术的产量，能够有效降低生产成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海曙海太阳能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201300 上海市南汇区工业园区陶桥路138号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810041864.2 【申请日】2008-08-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101339967B 【公开公告日】2010-09-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101339967B 【授权公告日】2010-09-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L31/20; C23C16/44 【发明人】奚建平; 金小亮 【主权项内容】一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机包括真空腔体及与其连接的加热和冷却系统(7)、真空获得和压力测量系统(5)、工艺气体和流量控制系统(4)、射频电源和匹配器系统(6)和中心控制系统(8)，其特征在于：该真空镀膜机设有两个真空腔体(1)，每个真空腔体设有一至多个电极盒(2)；所述两个真空腔体共用真空获得和压力测量系统(5)，工艺气体和流量控制系统(4)，射频电源和匹配器系统(6)，通过中心控制系统(8)在时间上控制真空腔体的交替镀膜过程。 ： 【当前权利人】上海曙海太阳能有限公司 【当前专利权人地址】上海市南汇区工业园区陶桥路138号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91310115672729187X 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】9
