【摘要】 一种制备溅射靶材料的方法，其包括：塑性加工 和热处理工艺相互结合作用，使用空气锤作为塑性加工设备， 通过限程备件标准块控制材料变形量，通过受力面的变化控制 材料变形方向，过程温度通过表面温度探测器进行监测。与现 有技术相比，本发明的优点在于通过空气锤这种可控性塑性加 工设备的运用，不仅使得加工设备和加工工艺的重复性、可控 性得以保证，而且加工方式简单，设备投入小，效率也较高， 对操作人员的要求也更为简单；同时通过与热处理工艺的不同 组合控制，可以实现对材料晶粒大小的控制，得到人们所要求 的晶粒大小和组织织构取向。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN200610053716.3 【申请日】2006-09-29 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1928129A 【公开公告日】2007-03-14 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN100420757C 【授权公告日】2008-09-24 【授权公告年份】2008.0 【发明人】姚力军; 潘杰 【主权项内容】1、一种制备溅射靶材料的方法，其包括：塑性加工和热处理工艺相互结合作用， 具体步骤如下： (1)利用加热炉把材料均匀预热至130-170℃； (2)利用塑性加工设备对材料进行垂直于轴向的塑性加工，过程温度控制在 250℃以下； (3)使用热处理炉对材料进行温度在250-500℃的热处理加工，保温一定时 间后进行水冷； (4)将该材料再次均匀预热至130-170℃； (5)利用塑性加工设备对材料进行平行于轴向的塑性加工，过程温度控制在 250℃以下。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【被引证次数】20 【被自引次数】1.0 【被他引次数】19.0 【家族被引证次数】21
