【摘要】 本实用新型涉及一种清除废硅片杂质的喷砂设备，包括喷砂室、设于喷砂室内由电机驱动的传动喷枪架和砂料收集装置、传送带，传送带由电机驱动，并穿过喷砂室，传送带上搁置若干网孔料盘，喷砂室内的传送带下方处设真空抽气装置，喷枪架传动方向与传送带运动方向垂直。本实用新型结构简单，废硅片受真空抽气紧贴网孔料盘运动，经喷枪喷砂清理，使硅片表层的杂质予以清除，经喷砂处理后的废硅片，可重复利用，为解决硅料资源紧缺作出了贡献。。 【专利类型】实用新型 【申请人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314117浙江省嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】嘉善县 【申请号】CN200620103374.7 【申请日】2006-05-10 【申请年份】2006 【公开公告号】CN2915374Y 【公开公告日】2007-06-27 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN2915374Y 【授权公告日】2007-06-27 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】B24C3/12; B24C3/02; B24C1/04; B24C9/00; H01L21/304; B24C3/00; B24C1/00; H01L21/02 【发明人】吴云才 【主权项内容】1、一种清除废硅片杂质的喷砂设备，包括喷砂室、设于喷砂室内由电机驱 动的传动喷枪架和砂料收集装置、传送带，传送带由电机驱动，并穿过喷砂室， 其特征在于：传送带上搁置若干网孔料盘，喷砂室内的传送带下方处设真空抽 气装置，喷枪架传动方向与传送带运动方向垂直。 【当前权利人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91330421753019961P 【被引证次数】28 【被自引次数】1.0 【被他引次数】27.0 【家族被引证次数】28
