【摘要】 本实用新型公开了一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置,它包括电源,升降电机,与升降电机连接的引下装置,与引下装置连接的升降台,以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,其特征在于:每个导向管支架的下端设置有旋转轴,旋转轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮,其中一个旋转轴比其它旋转轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。它可广泛应用于晶体生长系统。 【专利类型】实用新型 【申请人】嘉兴学院; 嘉兴市晶英光电子技术有限公司 【申请人类型】学校,企业 【申请人地址】314001浙江省嘉兴市越秀南路56号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】南湖区 【申请号】CN200620048051.2 【申请日】2006-11-22 【申请年份】2006 【公开公告号】CN200978306Y 【公开公告日】2007-11-21 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN200978306Y 【授权公告日】2007-11-21 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】C30B15/30; C30B11/00; C30B35/00 【发明人】万尤宝; 刘俊星 【主权项内容】1、一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置,包括电源, 升降电机,与升降电机连接的引下装置,与引下装置连接的 升降台,以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架 上的坩埚导向管,其特征在于:每个导向管支架的下端设置 有旋转轴,旋转轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部 分分别连接有互相啮合的齿轮,其中一个旋转轴比其它旋转 轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降 台上的旋转电机。 【当前权利人】嘉兴学院; 嘉兴市晶英光电子技术有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市越秀南路56号; 【专利权人类型】公立; 有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】12330000470009050B; 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4