【摘要】 本发明公开了一种旋转多坩埚下降法晶体生长系统，它包括：晶体炉、坩埚及其支撑装置，其中晶体炉包括炉体，炉膛和发热体；坩埚支撑装置包括升降台，位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管，与升降台连接的引下装置，与引下装置连接的升降电机和电源，其中导向管支架和导向管之间设置有紧固装置，坩埚置于坩埚导向管内；其中的坩埚支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置。采用本发明可以有效提高生长晶体的质量，而且可以生长出高质量的掺杂晶体，同时还能够生长获得现有多坩埚下降生长技术很难获得的圆形晶体。 【专利类型】发明申请 【申请人】万尤宝 【申请人类型】个人 【申请人地址】314001浙江省嘉兴市大树金港湾小区4栋604 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请号】CN200610148318.X 【申请日】2006-12-29 【申请年份】2006 【公开公告号】CN101070608A 【公开公告日】2007-11-14 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN101070608B 【授权公告日】2010-06-23 【授权公告年份】2010.0 【发明人】万尤宝 【主权项内容】1、一种旋转多坩埚下降法晶体生长系统，包括：晶体炉，坩埚及其支 撑装置，其中晶体炉包括炉体，炉膛和发热体；坩埚支撑装置包括升降台， 位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管，与升降台连 接的引下装置，与引下装置连接的升降电机和电源，其中导向管支架和导向 管之间设置有紧固装置，坩埚置于坩埚导向管内；其特征在于：所述的坩埚 支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置，每个导向管支架的下端设置有旋转轴， 旋转轴贯穿升降台，旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿 轮，其中一个旋转轴比其它旋转轴长，该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连 接一固定在升降台上的旋转电机。。 【当前权利人】嘉兴学院 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市越秀南路56号 【被引证次数】13 【被他引次数】13.0 【家族被引证次数】30
