【摘要】 本实用新型公开了一种多坩埚下降法晶体生长系统,它包括:晶体炉、坩埚及其支撑装置,其中晶体炉包括炉体,炉膛和发热体;坩埚支撑装置包括升降台,位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,与升降台连接的引下装置,与引下装置连接的升降电机和电源,其中导向管支架和导向管之间设置有紧固装置,坩埚置于坩埚导向管内;其中的坩埚支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置。采用本实用新型可以有效提高生长晶体的质量,而且可以生长出高质量的掺杂晶体,同时还能够生长获得现有多坩埚下降生长技术很难获得的圆形晶体。 【专利类型】实用新型 【申请人】万尤宝 【申请人类型】个人 【申请人地址】314001浙江省嘉兴市大树金港湾小区4栋604 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请号】CN200620162409.4 【申请日】2006-12-29 【申请年份】2006 【公开公告号】CN200992592Y 【公开公告日】2007-12-19 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN200992592Y 【授权公告日】2007-12-19 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】C30B11/00 【发明人】万尤宝 【主权项内容】1、一种多坩埚下降法晶体生长系统,包括:晶体炉,坩埚及其支撑装 置,其中晶体炉包括炉体,炉膛和发热体;坩埚支撑装置包括升降台,位于 升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,与升降台连接的 引下装置,与引下装置连接的升降电机和电源,其中导向管支架和导向管之 间设置有紧固装置,坩埚置于坩埚导向管内;其特征在于:所述的坩埚支撑 装置是可旋转多坩埚支撑装置,每个导向管支架的下端设置有旋转轴,旋转 轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮, 其中一个旋转轴比其它旋转轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接— 固定在升降台上的旋转电机; 该数据由<>整理 【当前权利人】嘉兴学院 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市越秀南路56号 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5