【摘要】 本实用新型涉及一种在半导体晶体区熔过程中使用的带有水套的拉晶炉，包括炉壳、设置在炉壳中受热腔体周围的发热体、在发热体与炉壳之间填充的保温棉，在炉壳中受热腔体周围还设置有冷水套，冷水套通过管道与外界相接通，设置在炉壳中受热腔体周围的发热体为热电偶，其通过设置在炉壳上的热电偶接线柱以及电源接线柱与外界电源相连接，具有结构简单、熔区的温度梯度合理、可以明显提高半导体晶棒性能的优点。 【专利类型】实用新型 【申请人】河南恒昌电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】461506河南省长葛市老城工业区 【申请人地区】中国 【申请人城市】许昌市 【申请人区县】长葛市 【申请号】CN200620130175.5 【申请日】2006-10-23 【申请年份】2006 【公开公告号】CN200968775Y 【公开公告日】2007-10-31 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN200968775Y 【授权公告日】2007-10-31 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】F27B17/00; H01L21/00 【发明人】刘宝成; 邢广轩; 郑俊霞 【主权项内容】1、一种带有水套的拉晶炉，包括炉壳(1)、设置在炉壳(1)中受热腔 体周围的发热体(2)、在发热体(2)与炉壳(1)之间填充的保温棉(3)， 其特征在于：在炉壳(1)中受热腔体周围还设置有冷水套(4)，冷水套(4) 通过管道与外界相接通。 【当前权利人】河南恒昌电子有限公司 【当前专利权人地址】河南省长葛市老城工业区 【专利权人类型】有限责任公司(自然人独资) 【统一社会信用代码】91411082782211426K
