【摘要】 本发明为一种应用近场光学虚拟光探针进行多 种材料选择性微加工方法及其系统。本发明提出应用纳米尺度 的近场光学虚拟光探针对材料进行选择性微加工，并且据此设 计了一套微加工系统。其由激光器发射的激光光束经滤波片、 偏光器后入射到三角棱镜的一边，其折射光束在三角棱镜底面 的入射角大于三棱镜的全反射角时发生全内反射，反射光束从 另一边折射出三角棱镜后经光学延迟器和反射镜后又沿原路 入射到三角棱镜的底面，形成虚拟光探针，将加工材料置于三 角棱镜底面下的一定距离范围，便可以利用虚拟光探针对材料 进行微加工，材料的微移调节通过微动载物台来实现。有效克 服了因灰尘污染及探针与材料表面碰撞而造成损伤的不足，可 提高微加工速度。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】212013江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】丹徒区 【申请号】CN200610085348.0 【申请日】2006-06-12 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1899748A 【公开公告日】2007-01-24 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN100448592C 【授权公告日】2009-01-07 【授权公告年份】2009.0 【IPC分类号】B23K26/00; B23K26/36; G02B17/08; G02B27/10 【发明人】周明; 李保家; 蔡兰 【主权项内容】1.一种近场光学虚拟光探针选择性微加工方法，其特征在于：由激光器发射的激光光 束经滤波片、偏光器后入射到三角棱镜的一边，且其折射光束在三角棱镜底面的入射角大于 三棱镜的全反射角，反射光束从另一边折射出三角棱镜后经光学延迟器和反射镜后又沿原路 入射到三角棱镜的底面，从而在该底面与空气的界面上产生隐失波场，经隐失波场干涉叠加 而形成虚拟光探针，将加工材料置于三角棱镜底面下，即由隐失波场干涉形成的虚拟光探针， 在有效作用距离150～500nm下利用虚拟光探针对材料进行微加工，通过微动载物台实现材 料的微移调节。 【当前权利人】江苏大学 【当前专利权人地址】江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】123200004660115453 【家族引证次数】2.0
