【摘要】 一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器， 其特征是针体的一端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁 上连接压力传感器，针体内腔为气室。本发明的优点是：(1) 结构微小化设计，使安装使用方便；(2)测量分辨率高，可用于 亚微米尺寸测量。 【专利类型】发明申请 【申请人】南昌大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】330031江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南昌市 【申请人区县】新建区 【申请号】CN200610124906.X 【申请日】2006-10-30 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1948898A 【公开公告日】2007-04-18 【公开公告年份】2007 【IPC分类号】G01B13/02; G01B13/00 【发明人】梁发云; 赵前程; 邓善熙 【主权项内容】1、一种气针式传感器，它包括针体、压力传感器，其特征是针体的一 端为进气喷嘴，另一端为测量喷嘴，针体壁上连接压力传感器，针体内腔 为气室。。 【当前权利人】南昌大学 【当前专利权人地址】江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12360000491015556U 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
