【摘要】 本发明属于微纳加工和激光成型技术领域，其由 Nd : YAG调Q纳秒脉冲激光器输出的激光光束经滤波片、电子 光闸等元件后由聚焦镜聚焦，聚焦后的激光光束直接作用于加 工样品表面，微纳加工过程中由计算机控制系统控制电子光闸 的开关来实现光路的通断，由计算机控制系统通过驱动器来控 制三维驱动工作台在水平方向上的纵横微移。本发明微纳加工 系统结构简单，操作方便，成本较低。表面微纳结构的周期易 控，加工质量较高。通过控制加工中的激光光斑直径、点扫描 时的重复次数、线扫描时三维驱动工作台的微移速度和激光脉 冲的重复频率等参数即可准确调整表面微纳结构分布，使其周 期性更显著。且微纳加工过程控制容易，加工效率较高。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】212013江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】丹徒区 【申请号】CN200610041569.8 【申请日】2006-09-15 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1928687A 【公开公告日】2007-03-14 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN100535729C 【授权公告日】2009-09-02 【授权公告年份】2009.0 【发明人】周明; 李保家; 蔡兰 【主权项内容】： 1.仿生周期微纳结构表面的大区域激光造型装置，其特征是由激光光源、外光 路系统和样品控制系统依次组成，激光光源采用Nd : YAG调Q纳秒脉冲激光器 (1)的二倍频输出或者三倍频输出，外光路系统由光学元件滤波片(3)、聚焦 镜(6)依次连接构成；样品控制系统包括置于外光路系统中的电子光闸(4)、 加工样品(9)、三维驱动工作台(10)、计算机控制系统(12)、驱动器(11)， 其中计算机控制系统(12)与电子光闸(4)和驱动器(11)、驱动器(11)与三 维驱动工作台(10)均通过数据线相连接。 【当前权利人】江苏大学 【当前专利权人地址】江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】123200004660115453 【被引证次数】16 【被自引次数】4.0 【被他引次数】12.0 【家族被引证次数】16
