【摘要】 激光加载实现微纳尺度三维成形的方法及其装置，属于微机电系统(MEMS)加工技术和激光微加工领域，其先将靶材双面研磨抛光，在靶材上压附一层微米尺度厚的铝膜和一块透明光学介质，分别作为吸收层和约束层。通过压板将约束层，吸收层，靶材和模版固紧在专用靶材装夹器上。开启纳秒脉冲激光器，调节好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经凸透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作，从而实现靶材的单脉冲激光冲击，进而实现靶材与模版贴合。经本发明冲击形成表面的硬度，耐腐蚀性，耐磨损性，疲劳强度等比普通方法有很大的提高。可广泛的应用于微机电系统的重要结构的零部件，整个加工系统具有易于控制、加工柔性高、无污染的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】212013江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【申请人地区】中国 【申请人城市】镇江市 【申请人区县】丹徒区 【申请号】CN200610041570.0 【申请日】2006-09-15 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1986387A 【公开公告日】2007-06-27 【公开公告年份】2007 【IPC分类号】B82B3/00; B23K26/00 【发明人】周明; 黄涛; 李保家 【主权项内容】1.激光加载实现微纳尺度三维成形的方法，其特征是先将靶材双面研磨抛光，在靶材 上压附一层微米尺度厚的铝膜和一块透明光学介质，分别作为吸收层和约束层，通过压板将 约束层，吸收层，靶材和模版固紧在专用靶材装夹器上；开启纳秒脉冲激光器，调节好光路， 使由纳秒脉冲激光器输出的激光经凸透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发 射操作，实现靶材的单脉冲激光冲击，进而驱动靶材与模版贴合。 【当前权利人】江苏大学 【当前专利权人地址】江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】123200004660115453 【被引证次数】19 【被自引次数】5.0 【被他引次数】14.0 【家族被引证次数】19
