【摘要】 一种无线通信领域的微电子机械系统共振器及 其制作方法，共振器由衬底、共振结构、用于固定共振结构的 锚定装置、电容型输出和输入电极组成。共振结构用锚定装置 固定在衬底上，输入电极与共振结构用可变平行板电容器连 接，输出电极与共振结构用可变平行板电容器相连接。衬底及 共振结构分别用硅、锗、碳化物、压电陶瓷其中之一种材料制 成；所述的共振器可与微电子芯片、双极性晶体管、金属氧化 物半导体器件、互补金属氧化物半导体器件、场效应晶体管、 结型场效应管器、绝缘珊场效应管其中之一进行集成。本发明 具有体积小、能耗低、品质因数高、易于集成、噪声小、温度 漂移小、稳定性高、成本低、产量大、易于产业化生产的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】阎济泽 【申请人类型】个人 【申请人地址】063000河北省唐山市路南区卫国路矿院楼207－2－5 【申请人地区】中国 【申请人城市】唐山市 【申请人区县】路南区 【申请号】CN200610012849.6 【申请日】2006-06-16 【申请年份】2006 【公开公告号】CN1897460A 【公开公告日】2007-01-17 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN100463364C 【授权公告日】2009-02-18 【授权公告年份】2009.0 【IPC分类号】H03H9/02; H03H9/15; H03H9/00 【发明人】阎济泽; 曾屹 【主权项内容】1、一种微电子机械系统共振器，它由衬底、进行机 械振动的共振结构、用于固定共振结构的锚定装置、电容型 输出和输入电极四个部分组成，其特征在于，进行机械振动 的共振结构用锚定装置固定在衬底上，输入电极与共振结构 用可变平行板电容器连接，输出电极与共振结构用可变平行 板电容器相连接。 【当前权利人】阎济泽 【当前专利权人地址】河北省唐山市路南区卫国路矿院楼207－2－5 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】6
