【摘要】 一种高性能、高可靠性熔丝烧条电路，在集成电 路芯片的一层上开窗设置有用于修调的金属熔丝，该金属熔丝 在被修调的电路与地之间构成回路；针对所述金属熔丝设置两 个电接探点，每个电接探点由开设窗口的钝化层与金属层叠加 构成，两个电接探点的金属层分别通过连线与金属熔丝的两端 电连接；金属熔丝层与下方的芯片衬底之间设置悬空的阱层保 护，即p衬底设置悬空的n阱保护或n衬底设置悬空的p阱保 护。本方案采用直接在熔丝的两端加设电接探点以及将保护阱 层设于熔丝层与衬底之间的措施，在中测时，将探针直接扎在 电接探点上，加电流对相应的熔丝进行修调，从而节省芯片面 积，提高芯片的可靠性和成品率，降低成本。 【专利类型】实用新型 【申请人】苏州市华芯微电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215011江苏省苏州市苏州新区滨河路625号A座3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】虎丘区 【申请号】CN200620072637.2 【申请日】2006-04-14 【申请年份】2006 【公开公告号】CN2904301Y 【公开公告日】2007-05-23 【公开公告年份】2007 【授权公告号】CN2904301Y 【授权公告日】2007-05-23 【授权公告年份】2007.0 【IPC分类号】H01L23/525; H01L23/52 【发明人】江石根; 袁翔; 雷红军; 谢卫国 【主权项内容】1、一种高性能、高可靠性熔丝烧条电路，在集成电路芯片的一层上开窗设 置有用于修调的金属熔丝，该金属熔丝一方面与烧写电路串联构成回路，另一 方与被修调的电路串联构成回路，其特征在于：金属熔丝与芯片衬底之间设置 悬空的阱层保护，即p衬底设置悬空的n阱保护或n衬底设置悬空的p阱保 护。 【当前权利人】苏州华芯微电子股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市高新区向阳路198号 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7
